1）技術參數：整機規格2100mm(W)×1345mm(D)×2200mm(H)腔體規格共2個，單個：660mm(W)×850mm(D)×1520mm(H)腔體容積855L×2電極規格內置管狀電極載物規格14層×2真空系統泵組（真空泵+羅茨泵），抽速：600m3/h電源...
1）技術參數：
整機規格 | 2100mm(W)×1345mm(D)×2200 mm(H) |
腔體規格 | 共2個，單個：660mm(W)×850mm(D)×1520mm(H) |
腔體容積 | 855L×2 |
電極規格 | 內置管狀電極 |
載物規格 | 14層×2 |
真空系統 | 泵組（真空泵+羅茨泵），抽速：600m3/h |
電源系統 | 固態晶體管等離子發生源 |
控制系統 | 觸摸屏+PLC自動控制 |
氣路系統 | 2路進氣、1路放空（可根據客戶需求增加氣路） |
水冷系統 | 水冷機+冷卻管路 |
工作電壓 | AC380V |
備 注 | 可針對不同物料形式、尺寸及產能等實際需求而定制專業設備 |
2）產品特點：
ü 獨特的管狀電極設計，并采用雙腔式結構，即可實現雙腔體同時處理，也可實現單腔體獨立運行。
ü 設備采用知名品牌觸摸屏和PLC自動控制，包括自動調節、自動操作、自動報警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過載、氣體報警、放空報警、射頻電源反射功率報警、電源無功率輸出報警、真空度過高報警、真空度過低報警等），所有運行參數可監控，充分保證操作便捷、高效。
ü 設備采用專業定制的最優工藝參數，包括等離子發生源的功率、頻率及放電時間、工藝氣體配比及進氣量等，共同保證貨品的最優處理效果。
3）應用范圍：
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